一.中圖儀器激光干涉儀顯著特點

1.測量(liang)精度高、速(su)度快，穩(wen)定性好

①使用高(gao)性能氦氖激光(guang)器，結合伺服(fu)穩頻控制系統，達(da)到高(gao)精度(du)穩頻(0.05ppm)

②以光波長(633nm)為(wei)測量單位，分(fen)辨率可達nm級

③使用高速(su)光電信號采樣和(he)處理(li)技術，測量速(su)度可達到4m/s。

④配合(he)有環境補(bu)償(chang)單元(yuan)，在環境變化的情(qing)況下(xia)，也可以得到較高(gao)的測量精度(du)

⑤分離式干涉鏡(jing)設計，避免了測量鏡(jing)組由于主機發(fa)熱而引起的鏡(jing)組形(xing)變

2. 應(ying)用范圍(wei)廣

①可以實現線(xian)性、角度(du)(du)、直(zhi)線(xian)度(du)(du)、垂直(zhi)度(du)(du)、平面度(du)(du)等幾何量的檢測

②結合我們的軟件系(xi)統，可以(yi)用于速度，加速度，振動分析以(yi)及穩(wen)定度等分析

③可(ke)實時監控精密加(jia)工(gong)機床(chuang)等機器的(de)動態數據(ju)，進行動態特性分析(xi)

3.軟件界面友好

①使用當前熱門的(de)軟(ruan)件界(jie)面開發工具(ju)，軟(ruan)件界(jie)面人(ren)性化，操作簡單。

②將靜態測量(liang)(liang)和動態測量(liang)(liang)兩種功(gong)能(neng)合并到一(yi)個軟(ruan)件(jian)中，更(geng)方便用戶切換測量(liang)(liang)類型。

③向(xiang)導式操作，流程清晰(xi)，更(geng)符合國內(nei)用戶(hu)的使用習(xi)慣。

4 性(xing)價(jia)比高

性能(neng)達(da)到了國外儀器的水準，價格(ge)是國內(nei)儀器的良心價。

二.中圖儀器激光干涉儀功(gong)能

SJ6000激光干涉儀產品具有測量精度高、測量速度快、zui高測速下分辨率高、測量范圍大等優點。通過與不同的光學組件結合，可以實現對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關軟件的配合下，還可以對數控機床進行動態性能檢測，如可以測量數控機床的定位精度、重復定位精度、微量位移精度等動態參量，可以進行機床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態特性分析，驅動系統的響應特性分析，導軌的動態特性分析等，具有*的精度和效率，而且及時處理數據，為機床誤差修正提供依據。

三.執行(xing)標準

四.中(zhong)圖激(ji)光干涉(she)儀技術參數(shu)

• 測量方(fang)式：單頻(pin)

• 穩頻精度：0.05ppm

• 動(dong)態采集頻率(lv)：50 kHz

• 預熱(re)時間：5-10分鐘

• 工(gong)作(zuo)溫度范圍：0~40℃

• 環(huan)境(jing)溫度范圍：0~40℃

• 存儲溫度范圍：-20℃~70℃

• 空氣溫度傳感器(qi)：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

• 材(cai)料溫度傳感器(qi)：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

• 空氣濕度(du)傳感器(qi)：±6% (0-95%)

• 大氣壓力傳感器(qi)：±1mBar (650-1150mbar)

• 測量距離：0-40m

• 測(ce)量精(jing)度：0.5ppm (0-40℃)

• 測量分(fen)辨(bian)率：1nm

• 測(ce)量zui大速度：4m/sec